实用新型已授权

一种进行多个半导体器件同步检测的机构

📄 申请号：CN202320610996.2 📄 发布日：2026/02/04

著录项目信息

申请日

2023-03-27

公开号

CN219286346U

公开日

2023-06-30

申请人

张家港意发功率半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_66

IPC 分类号

H01L21_66 , H01L21_677 , H01L21_68 ,

技术画像

所属领域

半导体检测设备半导体检测设备半导体测试技术同步检测机构

应用场景

半导体制造, 芯片测试, 晶圆检测, 半导体器件质检, 电子元器件测试

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摘要

本实用新型公开了一种进行多个半导体器件同步检测的机构，其包括：工作台、针脚导向板、移动载具、控制器、插头和检测仪，所述移动载具可相对针脚导向板前后移动地设置在工作台上，所述移动载具上横向间隔设置有多个定位槽，所述定位槽底部内凹设置有安装槽，所述安装槽中设置有指向上方的位移传感器，所述半导体器件设置在定位槽上，所述半导体器件上设置有延伸至移动载具前方并指向针脚导向板的针脚，所述针脚导向板上设置有与针脚一一对应的导向孔，所述插头设置在针脚导向板的前方并与定位槽一一对应。本实用新型所述的进行多个半导体器件同步检测的机构，可以进行多个半导体器件的定位、移动和针脚的导向，提升了检测效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种氧化炉内惰性气体喷淋装置

当前第 / 件

石材挡车球抛光机

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_66)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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