本发明涉及设备标定技术领域，具体涉及一种半导体检测设备标定系统，包括以下模块：初始化模块：初始化半导体检测设备的参数；翘曲预测模块：建立边缘翘曲预测模型，预测不同直径晶圆的边缘翘曲情况；直径补偿模块：建立边缘补偿模型，根据边缘翘曲预测模型预测的晶圆边缘翘曲度，计算直径补偿值；反馈调整模块：根据直径补偿值，自动调整半导体检测设备的图像生成参数；验证模块：根据实验分析，对补偿后的晶圆图像与实际晶圆直径进行对比验证；应用模块：自动匹配并进行直径补偿。本发明，通过引入边缘翘曲预测模型和直径补偿模型，能够有效地预测和补偿由于晶圆翘曲而导致的直径测量误差,对半导体检测设备的预标定起到了显著效果。
📄 2024117501716
📂 G06T7_00
👤 江苏矽腾半导体材料有限公司
📅 2024-09-18
本申请提供了一种半导体检测用翻转装置，属于半导体检测设备技术领域，以解决不便对不同大小尺寸的半导体进行夹持防护工作的问题，包括安装底板，所述安装底板上固定连接有第一电机，所述转轴上固定连接有蜗轮，所述固定架上固定连接有第二电机。本申请通过设置的夹板，在对不同尺寸的半导体进行夹持时，可将半导体放置在夹板中，然后转动固定架上的第一螺纹杆，第一螺纹杆运转时通过轴承推动夹板进行限位移动，夹板移动时配合转轴上的夹板能够平稳对半导体进行夹持，夹持后，转动第二螺纹杆带动限位板进行限位移动，配合第一防护垫与第二防护垫能够稳定对半导体进行防护夹持，避免半导体检测时发生脱落导致损坏的问题。
📄 2023202768617
📂 G01D11_30
👤 南通米格半导体检测技术有限公司
📅 2023-02-21
本申请提供了一种用于半导体检测的晶圆承托装置，属于晶圆承托装置技术领域，以解决不便对打磨产生的灰尘杂质进行清理收集的问题，包括防护壳，所述防护壳上固定连接有电机，所述输送管上固定连接有吸气管，所述吸气管固定连接在防护壳上，所述输送管上安装有泵体，所述输送管另一端安装有收集箱。本申请通过设置的输送管，在加工过程中可开启泵体，泵体通过输送管上的多个吸气管对加工过程中产生的灰尘杂质进行吸取收集，然后通过输送管输送到收集箱中进行集中处理，收集的同时可通过拆卸收集箱上的挡板，能够便于对收集箱中收集的灰尘杂质进行清理处理，避免工作人员在加工过程中吸入体内，造成危害。
📄 2023202747682
📂 H01L21_687
👤 南通米格半导体检测技术有限公司
📅 2023-02-21
本实用新型公开了一种进行多个半导体器件同步检测的机构，其包括：工作台、针脚导向板、移动载具、控制器、插头和检测仪，所述移动载具可相对针脚导向板前后移动地设置在工作台上，所述移动载具上横向间隔设置有多个定位槽，所述定位槽底部内凹设置有安装槽，所述安装槽中设置有指向上方的位移传感器，所述半导体器件设置在定位槽上，所述半导体器件上设置有延伸至移动载具前方并指向针脚导向板的针脚，所述针脚导向板上设置有与针脚一一对应的导向孔，所述插头设置在针脚导向板的前方并与定位槽一一对应。本实用新型所述的进行多个半导体器件同步检测的机构，可以进行多个半导体器件的定位、移动和针脚的导向，提升了检测效率。
📄 2023206109962
📂 H01L21_66
👤 张家港意发功率半导体有限公司
📅 2023-03-27
已申报项目
本实用新型公开的属于硅片测试技术领域，具体为一种测试硅片抗弯强度的装置，包括支架和硅片，还包括：用于对硅片进行承载的承载组件，且支架上设有两组承载组件，用于对两组硅片进行同时挤压的下压组件，且下压组件设在支架上，所述支架包括：侧板，所述侧板的一侧两端均固定安装支撑板，所述隔板固定安装在侧板的一侧上，本实用新型通过设置两组用于对硅片进行承载的承载组件，以及通过设置用于对两组硅片进行同时挤压的下压组件，具有能够解决目前的硅片抗弯强度测试的装置每次只能对一组硅片进行测试的问题，进而会在一定程度上提高对硅片的测试效率，以及会在一定程度上降低成本的投入。
📄 2023224614955
📂 G01N3_20
👤 苏州世点领自动化科技有限公司
📅 2023-09-11
已申报项目
本实用新型公开了一种晶圆缺陷测试仪的光源调节装置，包括夹具、光源、第一滑板和第二滑板，第一滑板和第二滑板之间设置有第一调节机构，第一调节机构包括连接板、定位板、齿条、第一转轴、第二转轴、第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮和手轮；手轮连接在第一转轴伸出定位板的一端上，第一齿轮固定套接在第一转轴上；第二齿轮和第三齿轮固定连接，套接在第二转轴上；齿条的一侧面与安装口的内侧面抵接，另一侧面与第三齿轮啮合连接，齿条的端部水平伸出与第二滑板连接。在旋转手轮时，通过第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮和齿条的传动，驱动第二滑板移动，夹具连接在第二滑板上，从而改变连接在夹具中的光源的位置。
📄 2022222452896
📂 F21V21_14
👤 苏州凯硕机电设备工程有限公司
📅 2022-08-25
本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测设备，包括固定底座、支撑架、检测头和检测台，还包括除尘组件，除尘组件包括连接座、喷头、支撑座、吸尘罩、喷气构件、吸气构件和转动构件，连接座与固定底座固定连接，喷头与连接座固定连接，支撑座与固定底座固定连接，吸尘罩与支撑座固定连接，喷气构件设置在固定底座上，并与喷头连接，吸气构件设置在固定底座上，并与吸尘罩连接，转动构件设置在固定底座上，并与检测台连接，通过将检测台上晶圆上吹起的灰尘吸入到吸尘罩内进行收集，避免灰尘再次掉落到晶圆上，从而避免晶圆上堆积吸附的灰尘影响检测结果，进而提高装置检测时的准确性。
📄 2023218276449
📂 G01N29_32
👤 苏州中巨苏智能科技有限公司
📅 2023-07-12
本发明涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种具有辐射干扰结构的半导体检测设备，所述具有辐射干扰结构的半导体检测设备包括立柱、辐射干扰腔、齿环、上料部件和检测部件，所述辐射干扰腔固定连接在所述立柱上端，所述齿环转动连接在所述辐射干扰腔内，所述齿环开设有呈环形阵列设置的多个凹槽，多个所述凹槽内侧壁上分别固定连接有托盘，本发明中拨动板就会推动新的半导体重新这一组放置板进行上料，从而实现竖板利用放置板对托盘上料，而拨动板能够对放置板进行上料，因此自动对托盘不断的上料作用。
📄 2024110860686
📂 G01R31_26
👤 张家港市星熠科技有限公司
📅 2024-08-08
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