实用新型已授权

一种氧化炉内惰性气体喷淋装置

📄 申请号：CN202320799930.2 📄 发布日：2026/06/05

著录项目信息

申请日

2023-04-12

公开号

CN219239840U

公开日

2023-06-23

申请人

张家港意发功率半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B33_00

IPC 分类号

C30B33_00 , H01L21_316 , H01L21_67 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

工业炉设备工业炉设备气体分布与喷淋惰性气体保护

应用场景

工业热处理, 半导体制造, 材料加工, 化工生产, 金属氧化处理

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型公开了一种氧化炉内惰性气体喷淋装置，其包括：进气管接头、第一喷淋管和第二喷淋管，所述第一喷淋管同心设置在第二喷淋管中，所述进气管接头垂直贯穿第二喷淋管并与第一喷淋管相连接，所述第一喷淋管顶部间隔设置有第一喷淋孔，所述第一喷淋管两侧分别设置有延伸至第二喷淋管内壁的喷淋板，所述喷淋板上间隔设置有第二喷淋孔，所述第二喷淋管底部设置有沿长度方向延伸的喷淋口。本实用新型所述的氧化炉内惰性气体喷淋装置，提升了惰性气体喷淋的均匀性，而且结构相对简洁，加工难道低。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于引脚的肖特基二极管封装结构

当前第 / 件

一种进行多个半导体器件同步检测的机构

同领域国内专利 · IPC: (C30B33_00)

C30B33_00 C30B33_02 C30B33_06 C30B33_10 覆盖4个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：32 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种氧化炉内惰性气体喷淋装置

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C30B33_00)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种可独立分室更换布袋的除尘器

一种工业炉尾气处理设备

一种自循环油槽式工业炉

服务项目

资源中心

关于柿子坊