实用新型已授权

一种氧化炉内惰性气体喷淋装置

Name: 一种氧化炉内惰性气体喷淋装置
Brand: 张家港意发功率半导体有限公司
SKU: 2023207999302
Availability: InStock

📄 申请号：CN202320799930.2 📄 发布日：2026/10/06

著录项目信息

申请日

2023-04-12

公开号

CN219239840U

公开日

2023-06-23

申请人

张家港意发功率半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B33_00

IPC 分类号

C30B33_00 , H01L21_316 , H01L21_67 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

工业热处理, 半导体制造, 材料加工, 化工生产, 金属氧化处理

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摘要

本实用新型公开了一种氧化炉内惰性气体喷淋装置，其包括：进气管接头、第一喷淋管和第二喷淋管，所述第一喷淋管同心设置在第二喷淋管中，所述进气管接头垂直贯穿第二喷淋管并与第一喷淋管相连接，所述第一喷淋管顶部间隔设置有第一喷淋孔，所述第一喷淋管两侧分别设置有延伸至第二喷淋管内壁的喷淋板，所述喷淋板上间隔设置有第二喷淋孔，所述第二喷淋管底部设置有沿长度方向延伸的喷淋口。本实用新型所述的氧化炉内惰性气体喷淋装置，提升了惰性气体喷淋的均匀性，而且结构相对简洁，加工难道低。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN219239840U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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