发明专利已授权

一种半导体的热处理设备及其使用方法

📄 申请号：CN202211622343.2 📄 发布日：2026/04/10

著录项目信息

申请日

2022-12-16

公开号

CN116153809A

公开日

2023-05-23

申请人

江苏卓远半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67

技术画像

所属领域

半导体热处理设备半导体热处理设备半导体工艺设备热处理工艺

应用场景

半导体制造, 集成电路, 晶圆加工, 芯片制造, 功率器件制造

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种半导体的热处理设备，包括外管体，所述外管体的顶部安装有两组错位布置的圆杆，所述外管体的底壁安装有环形内管，所述外管体的外壁安装有支撑环，两组所述圆杆的外表面套接有镂空底板，所述镂空底板的顶部安装有调节板，所述调节板的顶部设置有嵌合槽，所述嵌合槽的内壁安装有两组并排布置的卡合块，两组所述卡合块的顶部均安装有直立杆，所述直立杆的外表面设置有多组上下布置的环形槽，两组所述直立杆的外表面均套接有套筒。本发明中，可控制进入环形内管中热气体的含量，同时其能够适用于多种不同尺寸的半导体晶圆，且通过采用夹持晶圆圆周表面来降低晶圆被遮挡的区域，以便其最大程度与热气体相接触。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20251230

✅ 授权

20230609

?? 实质审查的生效：

20230523

📄 公开

一种机电一体化模具冲压设备及冲压方法

当前第 / 件

一种钢化玻璃生产用抛光设备

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：49 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种半导体的热处理设备及其使用方法

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种无缝不锈钢管加工用退火炉（钢材加工钢铁）

一种铜带退火加工用退火炉加热机构

一种轴承钢退火炉

服务项目

资源中心

关于柿子坊

一种半导体的热处理设备及其使用方法

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种无缝不锈钢管加工用退火炉（钢材加工 钢铁）

一种铜带退火加工用退火炉加热机构

一种轴承钢退火炉

服务项目

资源中心

关于柿子坊

一种无缝不锈钢管加工用退火炉（钢材加工钢铁）