实用新型已授权

一种晶圆烘干装置

Name: 一种晶圆烘干装置
Brand: 苏州康沃斯智能装备有限公司
SKU: 2022236026150
Availability: InStock

📄 申请号：CN202223602615.0 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2022-12-30

公开号

CN219759526U

公开日

2023-09-26

申请人

苏州康沃斯智能装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_687 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆处理设备干燥设备

应用场景

集成电路制造, 半导体晶圆加工, 晶圆清洗工艺, 芯片制造, 半导体制造

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摘要

本实用新型属于晶圆的生产处理设备技术领域，具体涉及一种晶圆烘干装置，解决了现有技术中存在烘干不均匀，工作效率低的问题，包括箱体和底板，所述底板的内部转动安装有转轴，所述转轴的顶部通过螺丝固定连接有转盘，通过转轴和烘干灯等结构的设置，烘干灯开始加热，电机也开始转动，第二斜齿轮带动第一斜齿轮转动，此时转轴也随着第二斜齿轮一起转动，转盘上的晶圆也会随之转动，圆盘底部的凸块将推动直杆向一侧移动，然后斜块推动推杆上下移动，由于连杆的转动安装在长槽的内部推杆推动连杆的时候，连杆另一端的烘干灯将会向下移动，将电机一直转动，转盘液会一直转动，带动烘干灯上下晃动，完成均匀烘干。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN219759526U

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种晶圆喷砂双供料机

当前第 / 件

一种高压升风机

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