实用新型已授权

一种晶圆喷砂双供料机

Name: 一种晶圆喷砂双供料机
Brand: 苏州康沃斯智能装备有限公司
SKU: 2021228397239
Availability: InStock

📄 申请号：CN202122839723.9 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2021-11-19

公开号

CN216542769U

公开日

2022-05-17

申请人

苏州康沃斯智能装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24C1_08

IPC 分类号

B24C1_08 , B24C3_08 , B24C3_12 , B24C9_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备喷砂设备自动供料系统

应用场景

半导体制造, 晶圆表面处理, 集成电路制造, 喷砂加工, 自动化生产

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摘要

本实用新型公开了一种晶圆喷砂双供料机，其包括喷砂机，喷砂机包括喷砂机本体和履带输送机，喷砂机本体设置在履带输送机中部的上端，履带输送机的两端伸出喷砂机本体；喷砂机设置有两台，喷砂机分别设置在双供料机的左右两侧，双供料机包括工作台、双供料机构、搬运机构、输送机构和放料机械手；本实用新型通过双供料机构的设置，能同时向两个喷砂机供料，减少了上料的频率，通过搬运机构、输送机构和放料机械手能对晶圆自动进行搬运，提高了设备的自动化程度，避免了人工的搬运，大大提高晶圆喷砂的效率，通过气浮分离模组和输送机构的设置，减小了晶圆的叠片率，提高了晶圆喷砂上料的稳定性，保证了喷砂质量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN216542769U

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：154 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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