发明专利 已授权

一种封装结构的制作方法

📄 申请号:CN202010947969.5 📄 发布日:2025/11/29

著录项目信息

申请日
2020-09-10
公开号
CN112117204A
公开日
2020-12-22
申请人
安徽龙芯微科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

集成电路封装, 半导体器件封装, 电子元器件封装, 功率器件封装, 传感器封装

摘要

本发明公开了一种封装结构的制作方法,包括以下步骤:步骤S1:将从晶圆厂出来的晶圆通过晶圆研磨设备进行背面研磨,来减薄晶圆达到封装需要的厚度;磨片时,需要在晶圆的正面贴胶带保护电路区域同时研磨背面;研磨之后,去除胶带,测量晶圆的厚度;减薄后的芯片贴在一个带有金属环的薄膜上,送到划片机进行划片;步骤S2:划片完成后,将晶圆安装粘贴在蓝膜上,使得晶圆即使被切割开后也不会散落;通过晶圆切割将整片晶圆切割成一个个独立的芯片;本发明,成本低廉,能够大大提高经济效益;同时,在封装的过程中,硅片打磨效果好,能够有效降低粉尘污染;而且,通过对封装结构进行了加工处理,能够大大提高封装结构整体质量。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN112117204A

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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