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发明专利
已授权
一种具有夹持功能的半导体光电子器件测试装置
📄 申请号:CN202410199105.8
📄 发布日:2025/11/16
著录项目信息
申请日
2024-02-22
公开号
CN118156211A
公开日
2024-06-07
申请人
武汉工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L21_687
IPC 分类号
H01L21_687
,
H01L21_66
,
技术画像
所属领域
光电子器件测试
半导体光电子器件
半导体器件测试
夹持机构
测试装置
光电子器件测试
应用场景
半导体器件测试, 光电子器件测试, 半导体制造, 光通信器件检测, 光电产品质检
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摘要
本发明涉及半导体电子器件技术领域,具体涉及一种具有夹持功能的半导体光电子器件测试装置,包括底座和测试组件,测试组件包括多个夹持单元、第一气缸、升降筒、检测单元和两个皮带输送机,夹持单元包括固定块、弹簧、夹持块、伸缩杆、连接杆和拨动杆,底座具有凹槽,半导体光电子器件安放在底座上方,第一气缸带动升降筒上移,将多个拨动杆相对移动,通过连接杆带动对应的夹持块移动,将半导体光电子器件固定,检测单元进行半导体光电子器件测试,第一气缸带动升降筒下移,同时弹簧回弹,伸缩杆跟随伸缩,提高稳定性,带动夹持块复位,由此无需人工手动操作来固定半导体光电子器件,可进行自动固定及测试,有效提高测试效率。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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