一种硅晶圆片湿法清洗机

摘     要：本实用新型涉及半导体技术领域，尤其为一种硅晶圆片湿法清洗机，包括主体、转动吸盘、外环和喷头结构，所述主体内侧固定连接有分隔板，所述分隔板的表面开设有通口，所述分隔板的上端面开设有流道，所述流道的内侧连通有开口，所述主体的内侧固定连接有托架，所述托架的上侧承接有液箱，所述外环的内壁与分隔板的下侧均固定连接有吸雾环，一组所述吸雾环之间连通有流通管，所述流通管上安装有抽风器，所述主体的上侧内壁设置有清理模块，所述清理模块包括轨条，所述轨条的上端面均与主体的内壁固定连接，通过设置的吸雾环、流通管、分隔板和清理模块等结构实现了硅晶圆片湿法清洗机可以对酸性溶液挥发产生的酸雾进行处理的能力。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注