本发明公开了一种用于半导体石墨清洗的清洗设备，包括底座，在底座顶面两侧的中部分别固定设有立柱和导向柱，在导向柱的柱体上部设有缓冲组件；在立柱内侧面的上部竖向活动设有滑板，在滑板的外侧中部横向固定设有横梁，在底座的顶面中部两侧分别固定设有矩形的清洗箱和支撑座，在清洗箱内设有清洗组件；在导向杆的杆体活动套设有滑块；在电推杆的伸缩端底部设有承载组件；本发明便于操作，通过升降组件和调节组件解决了现有半导体石墨在清洗时不便于工作人员进行取放工作的问题；通过清洗组件解决现有半导体石墨清洗装置清洗耗时较长的问题；通过收集箱便于增加对于清洗药液的回收利用，便于节约资源。
📄 2020106416389
📂 B08B3_10
👤 大同新成新材料股份有限公司
📅 2020-07-06
本实用新型公开了硅片清洗技术领域的一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，包括固定板，所述固定板的底端中部安装设有液压推杆，所述液压推杆的底部输出端安装设有限位座，所述限位座的底端安装设有矩形壳体，所述矩形壳体内通过两组伸缩组件连接有挂钩，两个所述挂钩相背立，所述挂钩上挂设有吊环，两个所述吊环的底端之间共同连接有挂篮，所述矩形壳体的左右两端均设有支撑组件，所述固定板的顶端中部安装设有连接座，本实用新型操作简单方便，可以实现挂篮的自动提取工作，有利于提高工作效率。
📄 2021232668731
📂 H01L21_67
👤 扬州伟业创新科技有限公司
📅 2021-12-23
本实用新型涉及晶圆单片式清洗机技术领域，且公开了一种晶圆单片式清洗机的喷淋管结构，包括水箱、喷嘴和喷淋管道，所述水箱的外侧设置有安装箱，所述安装箱的四个靠拐角处均设置有安装块，四个所述安装块上均开设有安装孔，所述水箱的左上端连接有入水管道，所述水箱的右下端连接有输送水管。本实用新型通过设置过滤广口漏斗、第一过滤层、第二过滤层、取渣口、封盖和橡胶提手，利用它们之间的相互配合作用，从而可以实现对清洗液中的颗粒杂质进行过滤掉，提高了清洗液的洁净度，同时也避免了清洗液中掺杂的颗粒杂质堵塞喷嘴，其次可以方便对过滤下来的颗粒杂质进行取出，另外通过设置四个安装块，可以根据需求便捷的改变安装箱的安装位置。
📄 202222084968X
📂 H01L21_67
👤 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
📅 2022-08-09
已申报项目
本实用新型提供有一种外延片清洗机，包括机体，所述机体的前表面上方安装有控制面板，所述机体的内部上表面安装有喷头，所述机体的内部下方表面安装有清洗盒，所述清洗盒的内部安装有内筒，所述内筒的内侧安装有连接轴，所述连接轴的一端安装有清洗槽，所述清洗槽的外侧安装有推拉隔板。该一种外延片清洗机，在内筒内部安装有连接轴和清洗槽，连接轴的一端与马达连接，通过马达带动连接轴转动从而带动清洗槽转动，在清洗槽转动时，能够对清洗槽内的外延片进行全面清洗，使得外延片的不同部分都能进行均匀程度的清洁，在清洗槽的内部两端安装有卡座，能够防止外延片移动脱离而影响清洁，增加了外延片安装的稳定，使得清洁工作更加安全。
📄 2023226890324
📂 H01L21_67
👤 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
📅 2023-10-08
本实用新型提供一种单片式清洗设备，涉及半导体晶圆清洗设备技术领域；该型单片式清洗设备上方设有滑动轨道，所述滑动轨道下方设有清洗喷头，所述清洗喷头底部设有喷嘴，所述清洗喷头顶部设有纯水喷管与药液喷管，所述单片式清洗设备下方设有清洗基座，所述清洗基座内部设有电机，所述电机与转动轴相互连接，所述转动轴上方设有晶片；该型单片式清洗设备通过将纯水与不同药液混合形成不同效果的清洗液对晶片进行清洗，同时清洗喷头通过滑动轨道可对晶片进行全域面清洗，配合高速旋转的电机达到高效清洗晶片的目的，具有适应不同清洗需求晶片的特点。
📄 2023222581302
📂 H01L21_67
👤 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
📅 2023-08-22
本发明涉及二极管制造技术领域，具体为一种二极管酸洗装置及酸洗工艺，本发明所述的一种二极管酸洗装置，包括酸洗池和收集筐，所述酸洗池的一侧侧壁开设有进液口，另一侧开设有出液口，酸洗池内部设有酸洗液；所述收集筐设置在酸洗池内部；所述收集筐的下端连接有电动推杆，收集筐的正上方设有排液筒；所述电动推杆固定在所述酸洗池的池底；本发明通过在收集筐的正上方安装排液筒，使得收集筐内的二极管能够在酸洗时更为充分，而且还能够在二极管酸洗好之后，使收集筐内和二极管表面附着的酸洗液得到排出，不仅防止酸洗液对车间造成污染，而且也缩短了清理酸洗液的时间，提高了二极管生产的工作环境和工作效率。
📄 2022106916270
📂 H01L21_67
👤 石宏彬
📅 2022-06-17
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其为一种硅晶圆片湿法清洗机，包括主体、转动吸盘、外环和喷头结构，所述主体内侧固定连接有分隔板，所述分隔板的表面开设有通口，所述分隔板的上端面开设有流道，所述流道的内侧连通有开口，所述主体的内侧固定连接有托架，所述托架的上侧承接有液箱，所述外环的内壁与分隔板的下侧均固定连接有吸雾环，一组所述吸雾环之间连通有流通管，所述流通管上安装有抽风器，所述主体的上侧内壁设置有清理模块，所述清理模块包括轨条，所述轨条的上端面均与主体的内壁固定连接，通过设置的吸雾环、流通管、分隔板和清理模块等结构实现了硅晶圆片湿法清洗机可以对酸性溶液挥发产生的酸雾进行处理的能力。
📄 2023216342662
📂 H01L21_67
👤 江苏迈睿科半导体科技有限公司
📅 2023-06-26
本实用新型涉及硅片加工技术领域，特别是涉及硅片清洗甩干装置，包括底座、清洗筒、排水管，所述清洗筒固定在所述底座上方，所述排水管固定在所述清洗筒侧面，还包括用于带动硅片旋转的旋转机构，所述旋转机构安装在所述底座上。本实用新型通过设置旋转机构，使用装置时，将硅片按顺序放入固定盘上的卡槽中并使得硅片一面与第一顶杆接触，硅片放置完毕后转动转动套，转动套带动转动杆转动，转动杆带动第二顶杆转动，第二顶杆转动与硅片另一面接触，第一顶杆和第二顶杆共同协作对硅片进行夹持固定，仅需一次操作就能够完成多个硅片的固定，固定过程方便快捷，有效提高了硅片的生产效率。
📄 2023230966735
📂 B08B3_10
👤 河南省华兴隆新能源科技有限公司
📅 2023-11-16
本实用新型公开了一种硅片清洗专用架，涉及硅片清洗技术领域，包括防粘连单元和放置架；所述放置架的上下表面均设置有支座，外部取料机械手通过支座对放置架进行搬运移动，所述放置架的侧面设置有调节单元，所述放置架的两侧分别滑动连接有锯齿架，所述锯齿架连接所述调节单元，所述两个锯齿架的相对侧面上均等距离设置有插片槽、凹槽和所述防粘连单元。有益效果在于：本实用新型，通过导流板、滑座和卷轮使得线绳处于绷紧状态，避免线绳触碰到硅片，通过导流板、滑座、滑杆和弹簧一使得线绳在相邻的两个硅片之间进行移动，对两个相邻硅片之间水流进行扰乱，避免水流使得硅片粘连从而影响硅片清洗的质量。
📄 2023213257808
📂 H01L21_67
👤 河南省华兴隆新能源科技有限公司
📅 2023-05-29
本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用清洗装置，其可方便对酒精进行使用，提高使用性；同时方便对清洗后掉落的脏物进行清理，降低劳动程度；且可无需手按晶圆流片进行固定，使清洗刷和清洗棉球能同时进行使用，提高清洗效率，增强使用效果；包括工作台、放置盒、放置架、清洗刷和多组清洗棉球；还包括按压泵，按压泵输出端位于放置架正上方；还包括盛放盒和支块，盛放盒顶端设置有盛放槽；还包括前支撑件和后支撑件，放置架包括左调节件、左固定件、左转动轴、右调节件、右固定件和右转动轴，左转动轴和右转动轴分别插入至左连接槽和右连接槽内部。
📄 2018110602585
📂 H01L21_67
👤 江苏英锐半导体有限公司
📅 2018-09-12
本发明公开了一种硅板机械清洗装置，涉及微电子清洗设备技术领域，包括承载装置和清洗装置，清洗装置包括转盘，转盘下表面设有软羊毛刷，转盘顶部连接有电机，承载装置包括承载底座，承载底座中心对称设有四个承载滑槽，承载滑槽内设有固定组件，固定组件包括U型框和挡板，U型框两端内壁设有T型滑槽，挡板两端设有T型凸起，T型凸起与T型滑槽滑动连接。通过本装置，可以快速对硅板完成更换和翻转，减少了更换硅板的时间，提高了工作效率。
📄 2018103344790
📂 H01L21_67
👤 安徽吉乃尔电器科技有限公司
📅 2018-04-14
本发明公开了一种翻转式清洗机上的硅片盒，包括圆筒形的盒体，盒体内插设有抽屉架，抽屉架包括两根呈截面呈T形的弧形支撑板，弧形支撑板的内壁上成型有若干道圆弧形的插槽，弧形支撑板一端的内壁上固定有外端盖，弧形支撑板另一端的内壁上固定有内端盖；所述盒体下端的两侧壁上成型有T型的导轨槽，抽屉架上的弧形支撑板插接在盒体的导轨槽内，盒体的封板上成型有圆孔，内端盖上插接固定有偏心轴，偏心轴穿过封板的圆孔成型有连轴，连轴上插套有磁性锁杆，连轴的外端插套固定有限位套，所述圆孔四周的封板上插接固定有与磁性锁杆相对的永磁铁块。
📄 2020109028027
📂 B08B3_10
👤 赣州市业润自动化设备有限公司
📅 2020-09-01
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