实用新型已授权

一种节能水流冲刷的单腔腐蚀清洗设备

📄 申请号：CN202321766909.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2023-07-06

公开号

CN220387262U

公开日

2024-01-26

申请人

江苏迈睿科半导体科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_02

IPC 分类号

B08B3_02 , B08B13_00 , B01D29_64 , B01D29_03 ,

技术画像

所属领域

清洗设备清洗设备湿法腐蚀流体冲刷

应用场景

半导体制造, 晶圆清洗, 光伏电池片清洗, 工业零部件清洗

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摘要

本实用新型涉及清洗设备技术领域，尤其为一种节能水流冲刷的单腔腐蚀清洗设备，包括设备主体，所述设备主体内部固定连接有喷洒器，所述设备主体底部固定连接有支撑板，所述支撑板底部固定连接有水管一，所述水管一底部固定连接有过滤装置，所述过滤装置底部固定连接有回水箱，所述回水箱一侧设有水泵，所述水泵一侧设有水管二，所述设备主体内部滑动连接有滑动条，所述滑动条内部设置有固定杆，所述固定杆一端固定连接有固定块，所述固定杆外侧设有弹簧，本实用新型中，通过设置的废水过滤回收装置可以使清洗设备在对工件进行清洗后，收集废水并且经过过滤达到二次使用和清洁设备的目的。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240126

✅ 授权

一种硅晶圆片湿法清洗机

当前第 / 件

一种用于多种不规则石英管的清洗设备

同领域国内专利 · IPC: (B08B3_02)

B08B3_00 B08B3_02 B08B3_04 B08B3_06 B08B3_08 B08B3_10 B08B3_12 B08B3_14 覆盖8个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：11 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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