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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202321325780.8 | 专利名称: | 一种硅片清洗专用架 |
申请日: | 2023-05-29 | 申请/专利权人 | 河南省华兴隆新能源科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 河南省漯河市临颍县产业集聚区经五路与黄龙路交叉口向西100米路北 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | H01L21/67 分类检索 |
公开/公告日: | 2023-09-22 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN219738925U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 5 | 所属领域: | 半导体专利转让搜索 |
应用场景:半导体晶圆生产线清洗工序;光伏产业硅基板清洁处理;集成电路制造前道工艺;实验室级高精度清洗作业;自动化清洗系统集成
摘 要:本实用新型公开了一种硅片清洗专用架,涉及硅片清洗技术领域,包括防粘连单元和放置架;所述放置架的上下表面均设置有支座,外部取料机械手通过支座对放置架进行搬运移动,所述放置架的侧面设置有调节单元,所述放置架的两侧分别滑动连接有锯齿架,所述锯齿架连接所述调节单元,所述两个锯齿架的相对侧面上均等距离设置有插片槽、凹槽和所述防粘连单元。有益效果在于:本实用新型,通过导流板、滑座和卷轮使得线绳处于绷紧状态,避免线绳触碰到硅片,通过导流板、滑座、滑杆和弹簧一使得线绳在相邻的两个硅片之间进行移动,对两个相邻硅片之间水流进行扰乱,避免水流使得硅片粘连从而影响硅片清洗的质量。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/09/22 | 授权 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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