实用新型已授权

一种硅片清洗专用架

📄 申请号：CN202321325780.8 📄 发布日：2025/09/04

著录项目信息

申请日

2023-05-29

公开号

CN219738925U

公开日

2023-09-22

申请人

河南省华兴隆新能源科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_687 , B08B3_04 , B08B11_00 , B08B13_00 ,

技术画像

所属领域

半导体清洗设备半导体清洗设备硅片载具晶圆清洗夹具

应用场景

半导体制造, 晶圆清洗, 光伏硅片加工, 电子器件制造

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摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗专用架，涉及硅片清洗技术领域，包括防粘连单元和放置架；所述放置架的上下表面均设置有支座，外部取料机械手通过支座对放置架进行搬运移动，所述放置架的侧面设置有调节单元，所述放置架的两侧分别滑动连接有锯齿架，所述锯齿架连接所述调节单元，所述两个锯齿架的相对侧面上均等距离设置有插片槽、凹槽和所述防粘连单元。有益效果在于：本实用新型，通过导流板、滑座和卷轮使得线绳处于绷紧状态，避免线绳触碰到硅片，通过导流板、滑座、滑杆和弹簧一使得线绳在相邻的两个硅片之间进行移动，对两个相邻硅片之间水流进行扰乱，避免水流使得硅片粘连从而影响硅片清洗的质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230922

✅ 授权

一种台盆支架

当前第 / 件

一种硅料烘干装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

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