发明专利已授权

一种调整组件和机台

📄 申请号：CN202011022596.7 📄 发布日：2026/07/20

著录项目信息

申请日

2020-09-25

公开号

CN112053986B

公开日

2023-10-27

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_68

IPC 分类号

H01L21_68 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

精密定位机构精密定位机构机械调整机构自动化设备

应用场景

半导体制造设备, 显示面板制造, 工业自动化, 精密加工, 检测设备

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摘要

本申请实施例提供了一种调整组件及机台，调整组件可以包括第一移动盘和第二移动盘，第一移动盘和第二移动盘纵向依次设置，第一移动盘具有纵向的第一通孔，第二移动盘具有纵向的第二通孔，第一通孔和第二通孔用于设置同一纵向的插销，第一移动盘可以置于第一方向的导轨上，在第一移动盘沿第一方向移动时，可以带动插销沿第一方向移动，第二移动盘可以置于第二方向的导轨上，在第二移动盘沿第二方向移动时，可以带动插销沿第二方向移动。由于第一移动盘和第二移动盘分别对应第一方向和第二方向的导轨，因此严格沿着第一方向和第二方向移动，第一方向和第二方向上的移动可以独立进行，不会互相干扰，安装时间较短，具有更好的便利性和调整准确性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20231027

✅ 授权

20201225

?? 实质审查的生效：

20201208

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：10 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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