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摘 要:本申请实施例提供了一种调整组件及机台,调整组件可以包括第一移动盘和第二移动盘,第一移动盘和第二移动盘纵向依次设置,第一移动盘具有纵向的第一通孔,第二移动盘具有纵向的第二通孔,第一通孔和第二通孔用于设置同一纵向的插销,第一移动盘可以置于第一方向的导轨上,在第一移动盘沿第一方向移动时,可以带动插销沿第一方向移动,第二移动盘可以置于第二方向的导轨上,在第二移动盘沿第二方向移动时,可以带动插销沿第二方向移动。由于第一移动盘和第二移动盘分别对应第一方向和第二方向的导轨,因此严格沿着第一方向和第二方向移动,第一方向和第二方向上的移动可以独立进行,不会互相干扰,安装时间较短,具有更好的便利性和调整准确性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011022596.7 | 专利名称: | 一种调整组件和机台 |
申请日: | 2020-09-25 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/68搜分类 半导体制程 半导体芯片 芯片制造 晶圆加工 光刻 集成电路搜索 |
公开/公告日: | 2023-10-27 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112053986B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |