实用新型已授权

一种具有插片限位机构的石英舟

📄 申请号：CN202220564168.5 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2022-03-16

公开号

CN217035602U

公开日

2022-07-22

申请人

苏州光协光电科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_673

IPC 分类号

H01L21_673

技术画像

所属领域

限位机构半导体制造设备晶圆载具石英器件限位机构

应用场景

半导体晶圆制造, 集成电路制造, 扩散工艺, 氧化工艺, 光伏电池制造

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摘要

本实用新型公开了一种具有插片限位机构的石英舟，具体涉及石英舟技术领域，包括石英舟本体，所述石英舟本体包括两个支撑板、上支撑杆和下支撑杆，且两个所述上支撑杆和下支撑杆均分别连接在两个所述支撑板之间，两个所述上支撑杆相对的一侧均开设有若干个侧边限位插槽，两个所述下支撑杆的顶部均开设有若干个底边限位插槽，所述底边限位插槽的两侧内壁均固定有夹紧弹簧，所述夹紧弹簧相对的一端固定连接有夹持固定片。本实用新型能有效对插片进行夹住限位和防动，使其不易偏移，且方便插片的插装使用，灵活可操作性较强，且缓冲防滑层还增加底边限位插槽和夹持固定片等与插片接触面的防滑稳定性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220722

✅ 授权

一种隔热效果好的石英炉管用炉帽

当前第 / 件

一种带有负压防护效果的石英炉管

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_673)

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