实用新型已授权

一种带有负压防护效果的石英炉管

📄 申请号：CN202220539669.8 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2022-03-14

公开号

CN217030264U

公开日

2022-07-22

申请人

苏州光协光电科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16L9_14

IPC 分类号

F16L9_14 , F16L57_00 , F16L23_18 , F16L23_032 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备石英玻璃制品工业炉设备

应用场景

半导体制造, 光伏电池生产, 集成电路制造, 真空热处理, 工业扩散炉

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摘要

本实用新型公开了一种带有负压防护效果的石英炉管，具体涉及石英炉管技术领域，包括石英炉管本体，所述石英炉管本体的从左往右依次包括石英炉管管口部、石英炉管管体部和石英炉管管尾部，所述石英炉管管尾部远离石英炉管管口部的一侧连通有两个连管，所述石英炉管管口部的外表面设有防护管套，且所述防护管套与石英炉管管口部之间设有石英棉。本实用新型防护管套和石英棉等能有效对石英炉管管口部处进行防护保护，且石英棉还防止防护管套与石英炉管管口部间硬性接触，使石英炉管管口部在安装使用等时不易损伤，且防护管套等增加了石英炉管管口部的结构强度和抗压性能，提高了石英炉管的防护效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220722

✅ 授权

一种具有插片限位机构的石英舟

当前第 / 件

一种接管设备（钢管加工、管材、钢铁）

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