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摘 要:本发明公开了一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构,包括固定底座,所述固定底座的下部设有下横向支撑板,下横向支撑板的底面中部固定有提升伺服电机,提升伺服电机的输出轴穿过下横向支撑板的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套,竖直螺套上螺接有竖直提升螺杆,竖直提升螺杆的顶端固定有提升板,提升板的侧壁固定有导向套体,导向套体插套在固定底座的顶板上成型有的导向通孔中。本发明可以将储料底板根据需要进行高低调节,使得其上的两个侧板体之间的下部也可以放置晶圆,需要抓取时可以将储料底板提升,方便抓取,效果好。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010853921.8 | 专利名称: | 一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构 |
申请日: | 2020-08-24 | 申请/专利权人 | 台州市老林装饰有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省台州市路桥区路南街道长浦村菜市场边 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/673搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2020-11-03 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN111883471A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |