发明专利已授权

一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构

📄 申请号：CN202010853921.8 📄 发布日：2026/07/20

著录项目信息

申请日

2020-08-24

公开号

CN111883471A

公开日

2020-11-03

申请人

台州市老林装饰有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_673

IPC 分类号

H01L21_673

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备晶圆存储传输设备高度调节机构

应用场景

半导体晶圆制造, 晶圆存储, 晶圆自动传输, 半导体生产线

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摘要

本发明公开了一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构，包括固定底座，所述固定底座的下部设有下横向支撑板，下横向支撑板的底面中部固定有提升伺服电机，提升伺服电机的输出轴穿过下横向支撑板的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套，竖直螺套上螺接有竖直提升螺杆，竖直提升螺杆的顶端固定有提升板，提升板的侧壁固定有导向套体，导向套体插套在固定底座的顶板上成型有的导向通孔中。本发明可以将储料底板根据需要进行高低调节，使得其上的两个侧板体之间的下部也可以放置晶圆，需要抓取时可以将储料底板提升，方便抓取，效果好。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种模仁加工用定位装置

当前第 / 件

一种积木机器人控制系统及其控制方法

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