发明专利已授权

一种晶圆流片生产用清洗装置

Name: 一种晶圆流片生产用清洗装置
Brand: 江苏英锐半导体有限公司
SKU: 2018110602585
Availability: InStock

📄 申请号：CN201811060258.5 📄 发布日：2025/11/16

著录项目信息

申请日

2018-09-12

公开号

CN109087878A

公开日

2018-12-25

申请人

江苏英锐半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67

技术画像

所属领域

半导体清洗设备半导体清洗设备晶圆制造工艺集成电路制造设备

应用场景

晶圆制造, 半导体前道工艺, 芯片生产, 集成电路制造, 微电子器件加工

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摘要

本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用清洗装置，其可方便对酒精进行使用，提高使用性；同时方便对清洗后掉落的脏物进行清理，降低劳动程度；且可无需手按晶圆流片进行固定，使清洗刷和清洗棉球能同时进行使用，提高清洗效率，增强使用效果；包括工作台、放置盒、放置架、清洗刷和多组清洗棉球；还包括按压泵，按压泵输出端位于放置架正上方；还包括盛放盒和支块，盛放盒顶端设置有盛放槽；还包括前支撑件和后支撑件，放置架包括左调节件、左固定件、左转动轴、右调节件、右固定件和右转动轴，左转动轴和右转动轴分别插入至左连接槽和右连接槽内部。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN109087878A

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种晶圆流片生产用光刻辅助装置

当前第 / 件

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