发明专利已授权

一种晶圆流片生产用光刻辅助装置

Name: 一种晶圆流片生产用光刻辅助装置
Brand: 盐城国睿信科技有限公司
SKU: 2018110602301
Availability: InStock

📄 申请号：CN201811060230.1 📄 发布日：2026/04/16

著录项目信息

申请日

2018-09-12

公开号

CN108962801A

公开日

2018-12-07

申请人

盐城国睿信科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_687 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备光刻设备晶圆加工

应用场景

集成电路制造, 半导体晶圆加工, 芯片流片, 光刻工艺, 微纳制造

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摘要

本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其可增强晶圆流片在支撑架上的稳固性，避免其在焊接过程中移位，提高焊接效果；同时能根据工作人员需求对其焊接时与晶圆流片间距离进行调整，提高适应能力，降低使用局限性；且增强焊接过程中对工作人员的保护效果，提高使用可靠性；包括工作台、底座、焊枪和支撑架，焊枪放置在工作台顶端右侧；还包括四组支撑件，支撑件包括第一螺纹管、第一螺纹杆、第一滚珠轴承和支撑板，第一螺纹杆顶端与支撑板底端连接；还包括四组固定件；还包括两组调节件、两组连接件和透明防护板，支撑架位于两组调节件之间，透明防护板左右两端分别与两组连接件连接。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN108962801A

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250307

⏳ 专利实施许可合同备案的注销：

20240820

⏳ 专利实施许可合同备案的生效：

20240322

⏳ 专利申请权的转移：

20240430

✅ 授权

20190101

?? 实质审查的生效：

一种用于晶圆生产离子注入的控制装置

当前第 / 件

一种晶圆流片生产用清洗装置

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：56 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

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