发明专利已授权

单类和多类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法

Name: 单类和多类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法
Brand: 广东工业大学
SKU: 2020101580669
Availability: InStock

📄 申请号：CN202010158066.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-03-09

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_677

IPC 分类号

H01L21_677 , H01L21_68 ,

技术画像

所属领域

巨量转移技术巨量转移技术自组装技术微纳制造

应用场景

微型发光二极管显示, 半导体芯片转移, 微电子封装, 柔性电子制造

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摘要

本发明提供单类及多类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法。通过对微小物体和目标载板进行表面处理，使目标载板目标位置具有不同的表面能。令微小物体漂浮于溶液表面，并将目标载板放入溶液中。利用目标载板的表面浸润性的差异，使溶液表面产生凹窝，使得微小物体滑入凹窝与目标载板的目标位置进行结合。对目标载板不同目标位置进行差异化表面处理，可以进一步在不同溶液中依次实现多类微小物体的漂浮定向移动及自主装巨量转移。本发明提供的单类及多类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法，具有效率高，定位精度高，易操作的优点。

常见问题

这项专利是否已经下证？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221115

✅ 授权

20200807

?? 实质审查的生效：

20200714

📄 公开

一种抑制芯片漂移与翘曲的封装方法

当前第 / 件

单类和多类微小物体悬浮定向移动及自主装巨量转移方法

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