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摘 要:本发明涉及一种薄膜拉伸横向对位机构及应用其的等间距芯片阵列巨量转移的对位装置。所述薄膜拉伸横向对位机构包括:中间连接板、压膜装置和薄膜拉伸驱动组件;所述压膜装置包括:活动端压膜装置和固定端压膜装置;两个所述压膜装置结构相同,所述压膜装置包括:压膜定块、压膜动块、压膜动块动力装置、压膜动块直线导轨模组;压膜动块直线导轨模组被固定在压膜定块上;所述压膜动块动力装置驱动所述压膜动块在所述压膜动块直线导轨模组上滑动;固定端压膜装置的压膜定块被固定在中间连接板上;活动端压膜装置的压膜定块在薄膜拉伸驱动组件的驱动下沿压膜装置活动端直线导轨模组的长度方向移动。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201911124492.4 | 专利名称: | 一种薄膜拉伸横向对位机构及应用其的对位装置 |
申请日: | 2019-11-18 | 申请/专利权人 | 广东工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省广州市大学城外环西路100号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 机械制造搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |