实用新型 已授权

一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置

📄 申请号:CN202320698601.9 📄 发布日:2026/11/02

著录项目信息

申请日
2023-04-03
公开号
CN220155493U
公开日
2023-12-08
申请人
苏州港麟微电子有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

太阳能电池制造, 光伏组件生产, 硅片湿法刻蚀, 光伏电池产线, 硅片加工

摘要

本实用新型涉及太阳能电池加工领域,具体为一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置,包括刻蚀槽、以及顶板,所述刻蚀槽的顶部两侧分别转动设置有连接轴,两组所述连接轴上均固定连接有盖板,所述顶板上滑动设置有补液喷头,所述顶板的顶端设置有储液桶。本实用新型通过控制补液喷头向下移动伸入刻蚀槽的内部进行补液的同时,两组盖板可以转动并相互扣合对刻蚀槽的顶部起到封闭遮挡的作用,可有效防止在补液过程中刻蚀槽内部的刻蚀液飞溅出来对周围造成污染,此外补液完毕时可以控制补液喷头滑动使其远离刻蚀槽,在此过程中两组盖板会相互分离展开,使得刻蚀槽的顶端不在受到遮挡作用,进而补液喷头以及盖板也不会对刻蚀作业的进行产生影响。

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这项专利是否已经下证?

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:8 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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