实用新型已授权

一种半导体刻蚀夹具

📄 申请号：CN202322437082.3 📄 发布日：2026/08/11

著录项目信息

申请日

2023-09-08

公开号

CN220774336U

公开日

2024-04-12

申请人

苏州迈克希自动化科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_687

IPC 分类号

H01L21_687 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备刻蚀设备晶圆夹具

应用场景

半导体刻蚀, 晶圆加工, 集成电路制造, MEMS器件制造, 芯片封装

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摘要

本实用新型涉及一种半导体刻蚀夹具，包括夹具座，所述夹具座内底壁设有主夹紧机构，所述夹具座的上表面放置有第一刻蚀板，所述第一刻蚀板的上表面放置有第二刻蚀板，所述夹具座的上表面设有副夹紧机构，所述第一刻蚀板的上表面开设有刻蚀槽，所述第二刻蚀板的上表面开设有进液孔。该半导体刻蚀夹具，通过设置驱动电机、轴杆、主皮带轮、副皮带轮、螺纹杆a、螺纹筒、活动板和U形杆，实现了从左右两侧对第一刻蚀板和第二刻蚀板的固定，解决了在对半导体晶圆进行刻蚀时需要高速转动，而紧固件的固定效果并不好，半导体晶圆旋转时产生的离心力会降低对半导体晶圆的稳定性，甚至会脱离夹取，降低了对半导体晶圆的刻蚀效果的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种传动式孔雀开屏铁制工艺品

当前第 / 件

一种用于不锈钢零件的热处理装置

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H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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