实用新型已授权

一种刻蚀机台

📄 申请号：CN202321862984.5 📄 发布日：2026/08/11

著录项目信息

申请日

2023-07-17

公开号

CN220341175U

公开日

2024-01-12

申请人

苏州迈克希自动化科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_306 , B08B3_02 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备刻蚀设备等离子体刻蚀技术

应用场景

半导体芯片制造, 集成电路制造, 晶圆加工, 微电子器件制造

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摘要

本实用新型涉及一种刻蚀机台，包括工作箱，所述工作箱的内壁的底部固定有水箱，所述工作箱内侧壁的左右两端均固定有滑轨，所述滑轨的内壁滑动连接有第一滑块，两个所述第一滑块相对的一侧之间固定有过滤网，所述工作箱的内侧壁固定有导料罩，所述导料罩的底部固定有止水阀，所述工作箱上设有调节机构，所述调节机构上设有溶液管，所述溶液管的底部固定有多个溶液喷头。该刻蚀机台通过调节机构带动溶液管移动能够将化学溶剂进行均匀的喷洒，使得产品均匀度稳定在标准之内，节约了成本，同时调节机构带动水管移动喷洒，还能够对工作箱中的原料表面进行冲洗，防止拿出时对工作人员造成一定的危害。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

输电线路通道可视化监控系统

当前第 / 件

一种用于薄壁耐热不锈钢零件焊接的保护装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：9 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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