实用新型已授权

一种刻蚀机台

Name: 一种刻蚀机台
Brand: 苏州迈克希自动化科技有限公司
SKU: 2023218629845
Availability: InStock

📄 申请号：CN202321862984.5 📄 发布日：2026/08/11

著录项目信息

申请日

2023-07-17

公开号

CN220341175U

公开日

2024-01-12

申请人

苏州迈克希自动化科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_306 , B08B3_02 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备刻蚀设备等离子体刻蚀技术

应用场景

半导体芯片制造, 集成电路制造, 晶圆加工, 微电子器件制造

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摘要

本实用新型涉及一种刻蚀机台，包括工作箱，所述工作箱的内壁的底部固定有水箱，所述工作箱内侧壁的左右两端均固定有滑轨，所述滑轨的内壁滑动连接有第一滑块，两个所述第一滑块相对的一侧之间固定有过滤网，所述工作箱的内侧壁固定有导料罩，所述导料罩的底部固定有止水阀，所述工作箱上设有调节机构，所述调节机构上设有溶液管，所述溶液管的底部固定有多个溶液喷头。该刻蚀机台通过调节机构带动溶液管移动能够将化学溶剂进行均匀的喷洒，使得产品均匀度稳定在标准之内，节约了成本，同时调节机构带动水管移动喷洒，还能够对工作箱中的原料表面进行冲洗，防止拿出时对工作人员造成一定的危害。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN220341175U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

输电线路通道可视化监控系统

当前第 / 件

一种用于薄壁耐热不锈钢零件焊接的保护装置

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：38 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

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