实用新型已授权

一种具有中间阻挡板的刻蚀机构

📄 申请号：CN202321761448.6 📄 发布日：2026/08/11

著录项目信息

申请日

2023-07-06

公开号

CN220474580U

公开日

2024-02-09

申请人

苏州迈克希自动化科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_306 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备等离子体刻蚀设备刻蚀腔室部件

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 晶圆刻蚀, 等离子体加工, 微电子器件加工

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摘要

本实用新型涉及一种具有中间阻挡板的刻蚀机构，包括箱体，所述箱体的内部设有刮除机构，所述箱体的内部设有喷洒机构，所述箱体内腔的左右两侧壁之间固定有弧形阻挡板，所述箱体内腔的左右两侧壁均固定有倾斜板，所述刮除机构包括固定在箱体右侧的电机，所述电机输出轴的外侧固定有往复丝杆。该具有中间阻挡板的刻蚀机构，通过驱动电机，使活动套带动刮扫块左右往复移动，利用弹簧能够使刮扫块始终与弧形阻挡板的下表面活动贴合，将弧形阻挡板下表面的刻蚀液刮下，并顺着箱体内腔的左右两侧壁向下流动，达到了防止刻蚀液会汇聚在一团并由于重力向下滴落至待刻蚀基板表面，使得待刻蚀基板表面刻蚀不均匀的目的。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种不锈钢材料的表面亮度强化处理装置

当前第 / 件

一种电力线路巡检系统

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：14 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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