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发明专利
已授权
一种基板的表面处理工艺
📄 申请号:CN201610301332.2
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2016-05-09
公开号
CN105957800B
公开日
2018-11-06
申请人
浙江海洋大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L21_02
IPC 分类号
H01L21_02
,
C03C23_00
,
技术画像
所属领域
表面处理工艺
表面处理
基板加工
表面改性
表面处理工艺
应用场景
电子制造, 半导体制造, 显示面板, 精密加工, 表面工程
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摘要
本发明涉及一种基板的表面处理工艺,将基板浸入玻璃洗涤剂内,洗净后用去离子水清洗;浸入附着力促进液中,超声处理然后取出加入丙酮超声处理取出后使用去离子水冲洗,然后使用氮气将基板吹干;浸泡在有机溶剂内,避光保存。本发明使用清洗、超声、冲洗、干燥、浸泡处理工艺处理的基板材料,能够利用有机溶剂与基板表面的缓慢反应最大限度的去除表面油污残留,并改善基板表面浸润性,能够增强基板后续镀膜的附着力及均匀性,该方法操作简单,无需其他处理设备,可在室温下空气中制备,与大面积商业化生产制备工艺相兼容。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20241022
⏳ 专利实施许可合同备案的生效 :
20241008
⏳ 专利实施许可合同备案的生效 :
20240903
⏳ 专利实施许可合同备案的生效 :
20240827
⏳ 专利实施许可合同备案的生效 :
20181106
✅ 授权
20161019
?? 实质审查的生效 :
20160921
📄 公开
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