发明专利已授权

Micro LED巨量转移和修复装置、方法及其设备

📄 申请号：CN202210060400.6 📄 发布日：2026/05/14

著录项目信息

申请日

2022-01-19

公开号

CN114420607B

公开日

2022-09-09

申请人

曲面超精密光电(深圳)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L33_00 , H01L33_62 ,

技术画像

所属领域

Micro LED显示 Micro LED显示巨量转移技术显示制造设备

应用场景

Micro LED显示面板制造, 半导体显示器件生产, 消费电子显示屏, 车载显示, 可穿戴显示

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摘要

本发明公开了Micro LED巨量转移和修复装置、方法及其设备;Micro LED巨量转移装置包括原始载台和标载台,及动力部件;微米级视觉传感器摄取原始载台中Micro LED颗粒的分布位置,转换成控制信号输出至ASIC驱动器,对紫外光可逆胶层进行照射,只让有Micro LED颗粒分布的位置具有黏力,其他的位置不具有黏力;然后动力部件带动黏取板至原始载台,直接黏取对应位置的Micro LED颗粒,再移送到目标基板的指定位置。本发明采用微米级视觉传感器,获得Micro LED颗粒的分布位置,再根据分布位置对黏取板中的紫外光可逆胶层进行定向投射曝光,获得精准的可黏贴区域,以此对Micro LED颗粒进行精准黏贴,实现Micro LED颗粒的巨量转移,也可以用于修复时的转移。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种超长宽比平面全贴合方法及其设备

当前第 / 件

一种医疗用玻璃瓶的生产工艺

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