发明专利已授权

一种激光清洗硅片或透镜表面颗粒的方法

📄 申请号：CN201910044747.X 📄 发布日：2026/06/01

著录项目信息

申请日

2019-01-17

公开号

CN109671616B

公开日

2023-05-05

申请人

江苏大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_02

IPC 分类号

H01L21_02

技术画像

所属领域

激光清洗激光清洗表面处理光学元件加工

应用场景

半导体制造, 光学元件维护, 精密加工

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明提供了一种激光清洗硅片或透镜表面颗粒的方法，首先，将对激光具有吸附作用的黏胶涂覆在工件的待清洗表面，通过黏胶将颗粒污物包围，经过干燥后颗粒污物将被固化在黏胶内；然后，利用脉冲激光束辐照黏胶层表面，脉冲激光束作用在黏胶层上，产生冲击波，在激光的瞬时热力作用下，黏胶层和固化在黏胶内的颗粒污物开裂，形成粒度为100～300μm的碎片，并从工件的表面飞离，使颗粒污物从工件的待清洗表面分离；工件经过高压气体吹洗之后，放入丙酮溶液进行超声清洗清除粘着在工件表面的残渣。能够有效清洗工件表面的颗粒，保护工件表面免受激光的直接烧蚀，从而避免硅片表面受到激光热效应的损伤。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

快捷自动换刀主轴电机

当前第 / 件

一种串联式轴向柱塞泵

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_02)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

¥12000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：58 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 天津勤熠信息科技有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 27件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)