发明专利已授权

一种硅片自动清洗插片设备

📄 申请号：CN201810397372.0 📄 发布日：2026/08/21

著录项目信息

申请日

2018-04-28

公开号

CN108389816A

公开日

2018-08-10

申请人

嘉兴岐达新材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_677 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体制造, 光伏电池生产, 晶圆清洗, 硅片加工

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摘要

本发明公开了一种硅片自动清洗插片设备，包括下料斗、清洗槽、接料清洗器、翻面清洗器、转运插片器、插片架。本发明能够使硅片的插片自动进行，降低了人工参与，提升了插片品质和效率，同时还能够对硅片进行翻面清洗，保证干净整洁，方便后续生产。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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