发明专利 已授权

一种硅片自动清洗插片设备

📄 申请号:CN201810397372.0 📄 发布日:2026/08/21

著录项目信息

申请日
2018-04-28
公开号
CN108389816A
公开日
2018-08-10
申请人
嘉兴岐达新材料有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体制造, 光伏电池生产, 晶圆清洗, 硅片加工

摘要

本发明公开了一种硅片自动清洗插片设备,包括下料斗、清洗槽、接料清洗器、翻面清洗器、转运插片器、插片架。本发明能够使硅片的插片自动进行,降低了人工参与,提升了插片品质和效率,同时还能够对硅片进行翻面清洗,保证干净整洁,方便后续生产。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN108389816A

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该专利的转让价格是多少?

当前标价为 10000.0 元,不含过户费。支持议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:28 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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