发明专利已授权

一种全自动硅片翻面烘干机

📄 申请号：CN201810397264.3 📄 发布日：2026/08/21

著录项目信息

申请日

2018-04-28

公开号

CN108387078B

公开日

2023-08-25

申请人

浙江岐达科技股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F26B11_00

IPC 分类号

F26B11_00 , F26B21_00 , F26B25_00 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体制造, 光伏电池生产, 硅片清洗后处理, 自动化生产线

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摘要

本发明公开了一种全自动硅片翻面烘干机，包括烘干箱、旋转电机、联动轴、鼓风器、烘干器、硅片盘、抽风器、控制中枢。本发明能够使硅片的烘干自动化进行，同时还能进行翻面烘干，有效降低硅片表面的水分残留，提升烘干质量，烘干效率高，利于推广应用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种水下机器人驱动滚筒

当前第 / 件

一种硅片自动清洗插片设备

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不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：4 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 天津勤熠信息科技有限公司

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