实用新型已授权

一种防硅片折弯的防护夹具

📄 申请号：CN202423222001.9 📄 发布日：2026/04/28

著录项目信息

申请日

2024-12-26

公开号

CN223513949U

公开日

2025-11-04

申请人

安徽晶天新能源科技有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_687

IPC 分类号

H01L21_687

技术画像

所属领域

半导体材料半导体材料半导体制造设备硅片加工

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 光伏硅片生产

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摘要

本实用新型涉及夹具领域，尤其涉及一种防硅片折弯的防护夹具，包括有底盘和放置在底盘上端的圆形硅片；底盘的下端固接有底板，底板上设置有用于夹持圆形硅片的夹持组件。本实用新型通过将圆形硅片放置在底盘的上端，然后开启夹持组件对圆形硅片的侧壁进行挤压夹持固定，然后开启第二电动缸使得限位块向下移动，使得限位块对夹持组件进行限位，可以使得夹持组件更加稳定的对圆形硅片的侧壁进行夹持，支撑组件可拆卸的安装在夹持组件上，夹持组件可拆卸的安装在底板上，方便对夹持组件和支撑组件进行更换，利用其他的移动机构对U型块进行移动，可以方便对该装置进行移动。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种水下高精度磁场测量系统

当前第 / 件

一种用于量子点扩散板无尘切割设备

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_687)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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