实用新型已授权

一种可调节的硅片加工夹具

📄 申请号：CN202223184835.6 📄 发布日：2025/12/29

著录项目信息

申请日

2022-11-29

公开号

CN218632000U

公开日

2023-03-14

申请人

安徽晶天新能源科技有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_687

IPC 分类号

H01L21_687 , H01L21_677 ,

技术画像

所属领域

加工夹具半导体加工设备机械夹持装置硅片加工工艺夹具加工夹具

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 晶圆加工, 硅片研磨抛光, 硅片切割

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摘要

本实用新型公开了一种可调节的硅片加工夹具，涉及硅片加工领域，该加工夹具旨在解决现在的硅片双面加工时需要从夹持机具上取下手动翻面，使用不方便的技术问题，该加工夹具包括端承台、设置于端承台中间的回转台、设置于回转台上方的后背板、设置于后背板后侧的调控电机，后背板前侧设置有平衡梁，后背板前端左右对称安装有纵向的导轨，导轨前端安装有线性电机，平衡梁上下两端对称安装有垂直油缸，平衡梁前端设置有夹持片，夹持片安装于与其相邻的垂直油缸的液压执行元件顶端，该加工夹具采用调控电机可以带动夹具在竖直平面内进行度的旋转，在对硅片稳定夹持的同时控制硅片翻面或调整倾斜角度以应对不同的加工设备，使用灵活方便。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种防松动的硅片脱胶

当前第 / 件

一种茶树枝条嫁接装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_687)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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