实用新型已授权

一种防松动的硅片脱胶

📄 申请号：CN202223184695.2 📄 发布日：2026/04/29

著录项目信息

申请日

2022-11-29

公开号

CN218585961U

公开日

2023-03-07

申请人

安徽晶天新能源科技有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_687

IPC 分类号

H01L21_687 , H01L21_67 , B08B3_04 , B08B13_00 ,

技术画像

所属领域

半导体晶圆加工半导体晶圆加工晶圆脱胶工艺晶片固定夹具

应用场景

半导体晶圆制造, 硅片切割, 晶圆减薄, 集成电路制程, 光伏硅片生产

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摘要

本实用新型公开了一种防松动的硅片脱胶架，涉及硅片脱胶架技术领域，为解决现有的硅片脱胶架，为框架定位，形成内部限位，随着不断的滑动，导致内部硅片排列发生松动，使得相互碰撞，影响硅片的质量的问题。本实用新型包括温热罐，温热罐的中间设有硅片脱胶架，硅片脱胶架包括转动过滤组件，转动过滤组件为转动筛，转动筛的中间设有旋转端，旋转端的外侧设有限位组件，限位组件设有多组，多组限位组件环绕旋转端的外侧设置，两组限位组件的之间设有隔断组件，通过多组限位组件环绕旋转端的外侧设置，根据硅片的大小，通过定位孔安装不同的托盘，便于硅片脱落，通过转动筛进行保护与限位，保障硅片的质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种便于组装的客车用空气净化器

当前第 / 件

一种可调节的硅片加工夹具

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_687)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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