实用新型已授权

一种光刻胶刻蚀装置

📄 申请号：CN202322792148.0 📄 发布日：2025/12/18

著录项目信息

申请日

2023-10-18

公开号

CN221447103U

公开日

2024-07-30

申请人

住晶新材料科技(烟台)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备刻蚀工艺微纳加工设备

应用场景

半导体芯片制造, 集成电路制造, 平板显示制造, MEMS制造, 光伏电池制造

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摘要

本实用新型公开了一种光刻胶刻蚀装置，属于光刻胶刻蚀领域，一种光刻胶刻蚀装置，包括刻蚀壳体，刻蚀壳体内部靠近上端的位置处和靠近下端的位置处分别固定有第一隔层与第二隔层，第一隔层的内部固定有多个固定槽，固定槽的内部固定有第三气管，它可以实现使限位滑块推动限位滑板，从而使载物盘与光刻胶晶片板滑出固定槽内部完成下料，可以避免在下料过程中可能出现的损坏问题，使下料更加便捷和安全、提高产品生产安全和效率，此外还能有效地避免在人员装配光刻胶晶片板时可能出现的倾斜，确保光刻胶晶片板水平按压到固定槽内，提高固定成功率，可以降低生产成本和避免光刻胶晶片板不必要的损坏。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种面粉生产用小麦研磨装置

当前第 / 件

一种口服液配料罐

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：107 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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