实用新型已授权

一种用于改善花篮印的大尺寸湿花篮结构

📄 申请号：CN202022263864.6 📄 发布日：2026/08/07

著录项目信息

申请日

2020-10-13

公开号

CN212907677U

公开日

2021-04-06

申请人

江西钛创新能源科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_673

IPC 分类号

H01L21_673

技术画像

所属领域

半导体湿法处理设备半导体湿法处理设备晶圆承载装置花篮结构设计

应用场景

晶圆湿法清洗, 半导体晶圆制造, 晶圆电镀, 晶圆化学处理

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摘要

本实用新型公开了一种用于改善花篮印的大尺寸湿花篮结构，包括第一固定板，所述第一固定板右侧设置有改善花篮印机构；所述改善花篮印机构包括第一横杆、第二横杆、第一花篮斜齿和第二花篮斜齿；所述第一固定板右侧前后两端分别等距固定连接有三个第一横杆和三个第二横杆，且第一横杆后侧和第二横杆前侧分别固定连接第一花篮斜齿和第二花篮斜齿。本实用新型通过采用花篮原两边横杆与花篮底部横杆花篮齿由原来的水平设计改变为角度18°倾斜设计、花篮两侧及底部横杆花篮齿倾斜设计，有助于花篮蓝齿与硅片接触的地方液体溢流，因倾斜带角度设计，相对现有水平设计硅片与花篮篮齿接触的位置能更好的得到干燥。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210406

✅ 授权

一种适用于大尺寸硅片称重装置

当前第 / 件

一种胎盘组织消化装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_673)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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