实用新型已授权

一种适用于大尺寸硅片称重装置

📄 申请号：CN202022263414.7 📄 发布日：2026/08/07

著录项目信息

申请日

2020-10-13

公开号

CN213515925U

公开日

2021-06-22

申请人

江西钛创新能源科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01G17_00

IPC 分类号

G01G17_00 , G01G21_22 ,

技术画像

所属领域

精密测量装置精密测量装置半导体制造设备称重设备

应用场景

半导体制造, 硅片检测, 集成电路制造, 工业称重计量

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摘要

本实用新型涉及硅片称量领域，具体为一种适用于大尺寸硅片称重装置，包括电子秤，所述电子秤的上侧安装有固定板，所述固定板的底部四角处均通过连接块和电子秤的顶部固定连接。本实用新型通过固定板顶部四组支杆对硅片进行支撑，从而使得和硅片的接触面积较小，进而在称量的过程中，能够降低磨损，有效的保护了硅片，较为实用，适合广泛推广与使用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210622

✅ 授权

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当前第 / 件

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