摘要
本实用新型公开了一种单轨硅片收篮机,其包括机架,机架的上方设置有放料机构、输送机构、搬运机构和装篮组件,放料机构用于储放晶圆,其设置在传输机传输起点的一侧,搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到传输机的传输起点上,传输机将晶圆输送到传输终点并通过推料气缸、推料块以及篮具顶升模组将晶圆放入装篮组件内。本实用新型通过放料机构、输送机构、搬运机构、装篮组件和篮具顶升模组的设置实现了自动对晶圆的分片收篮,降低了用工数量,节约了用工成本,大大的提高工作效率,晶圆收篮产能达到了1000‑1200Pcs/H,装篮操作省时省力,同时叠片率小于1%,碎片率小于3‰,也保证了收篮质量,适于推广应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利