实用新型已授权

一种晶圆烘干装置

Name: 一种晶圆烘干装置
Brand: 苏州康沃斯智能装备有限公司
SKU: 2021227989662
Availability: InStock

📄 申请号：CN202122798966.2 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2022-04-21

公开号

CN216925046U

公开日

2022-07-08

申请人

苏州康沃斯智能装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F26B15_12

IPC 分类号

F26B15_12 , F26B21_00 , F26B25_00 , F26B25_18 , F25D13_06 , F25D17_06 , F25D23_00 ,

技术画像

所属领域

烘干装置半导体设备晶圆制造工艺清洗干燥设备烘干装置

应用场景

半导体制造, 晶圆清洗, 集成电路生产

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摘要

本实用新型公开了一种晶圆烘干装置，其包括机架，机架上设置有烘干机构，烘干机构包括安装型材、加热台、冷却台、接料杆、凹槽、第一气缸、连接脚、滑轨、导向块、连接块和第二气缸，若干个加热台等距离设置在安装型材的上端，安装型材的上端还等距离设置有若干个冷却台，冷却台设置在加热台的右端，本实用新型通过烘干机构的设置，实现了在晶圆的连续涂源后，不间断地对晶圆进行的烘干和冷却，通过多个加热台和冷却台的设置，在保证了烘干质量的同时，也能对烘干的晶圆进行冷却，无需再转移晶圆进行冷却，便于工作人员进行收料装盘，节约了等待时间也提高了生产效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种单轨硅片收篮机

当前第 / 件

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