发明专利已授权

一种用于承载硅片的石墨舟及其使用方法

📄 申请号：CN202211269826.9 📄 发布日：2025/10/24

著录项目信息

申请日

2022-10-18

公开号

CN115642122B

公开日

2025-10-03

申请人

董泽

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_687

IPC 分类号

H01L21_687 , H10F71_00 ,

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备石墨舟硅片承载装置

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 扩散工艺, 氧化工艺

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摘要

本发明公开了一种用于承载硅片的石墨舟及其使用方法，包括石墨舟和用于夹持硅片的夹持机构，石墨舟两端转动连接有对称设置的摆杆，摆杆一端连接有挡块，摆杆另一端活动连接有滑杆；挡块固定连接有推块，滑杆与石墨舟滑动连接，石墨舟两端还固定连接有固定座，固定座通过弹簧与挡块相连；其中一个摆杆还固定连接有按压块。本装置可较好的实现对硅片的夹持，使硅片和石墨舟之间紧密贴合，从而利于后续硅片的加工工作。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种阻燃面料及其制备方法

当前第 / 件

具有折叠屏的终端设备的显示方法、装置和电子设备

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