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| 专利/申请号: | CN202211269826.9 | 专利名称: | 一种用于承载硅片的石墨舟及其使用方法 |
| 申请日: | 2022-10-18 | 申请/专利权人 | 董泽 |
| 专利类型: | 发明 | 地址: | 湖北省荆门市东宝区象山大道100号(御景天城)1幢 |
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | H01L21/687 分类检索 |
| 公开/公告日: | 2025-10-03 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号: | CN115642122B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量: | 6 | 所属领域: | 半导体制造 材料加工专利转让搜索 |
应用场景:光伏或半导体生产过程中硅片的高温承载与转运;解决传统石墨舟易变形、污染硅片的问题
摘 要:本发明公开了一种用于承载硅片的石墨舟及其使用方法,包括石墨舟和用于夹持硅片的夹持机构,石墨舟两端转动连接有对称设置的摆杆,摆杆一端连接有挡块,摆杆另一端活动连接有滑杆;挡块固定连接有推块,滑杆与石墨舟滑动连接,石墨舟两端还固定连接有固定座,固定座通过弹簧与挡块相连;其中一个摆杆还固定连接有按压块。本装置可较好的实现对硅片的夹持,使硅片和石墨舟之间紧密贴合,从而利于后续硅片的加工工作。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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