发明专利已授权

一种离子监控器及其制备方法

📄 申请号：CN201910574232.0 📄 发布日：2026/06/23

著录项目信息

申请日

2019-06-28

公开号

CN110444486A

公开日

2019-11-12

申请人

新昌县厚泽科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_66

IPC 分类号

H01L21_66 , G01R27_02 ,

技术画像

所属领域

离子传感器离子传感器电化学检测监控仪器

应用场景

水质监测, 环境监测, 工业过程控制, 实验室分析

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摘要

本发明属于离子探测技术领域，尤其涉及一种离子监控器，包括硅衬底(1)，以及依次形成在该硅衬底(1)上的第三复合层和第四复合层，每层复合层由绝缘层(2)-及其上方的多晶硅层(3)构成；所述离子监控器还包括，第一阳极(4-1)和第二阳极(4-2)，第一阴极(5-1)和第二阴极(5-2)，以及第一绝缘体(6-1)、第二绝缘体(7-1)、第三绝缘体(6-2)、第四绝缘体(7-2)；其中，第一阳极(4-1)、第一阴极(5-1)、第一绝缘体(6-1)以及第二绝缘体(7-1)分别垂直穿透第四复合层的多晶硅层，但不垂直穿透第四复合层的绝缘层。本发明的离子监控器，实现高分辨率的离子能量监控，且制备方法简单。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种多杆联动快速挖坑松土机器人

当前第 / 件

一种离子检测器及其制备方法

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_66)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：33 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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