实用新型已授权

一种晶圆热处理用石英舟

📄 申请号：CN202420552161.0 📄 发布日：2025/10/13

著录项目信息

申请日

2024-03-21

公开号

CN222394781U

公开日

2025-01-24

申请人

连云港亮迪石英科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_673

IPC 分类号

H01L21_673

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备石英玻璃制品晶圆承载治具

应用场景

半导体晶圆热处理, 集成电路制造, 芯片扩散工艺, 晶圆氧化工艺, 晶圆退火工艺

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摘要

本实用新型的一种晶圆热处理用石英舟，包括支撑杆；在支撑杆的外周面上沿支撑杆的长度方向间隔的开设有若干列晶圆承载槽；所述的安装孔的数量与支撑杆的数量一一对应设置；所述的安装孔为正多边形孔，所述的支撑杆为正多边形杆，所述支撑杆上每条长度方向的侧边上均开设有一列所述的晶圆承载槽。侧板与支撑杆之间可相互拆卸，并且支撑杆上设置有多列晶圆承载槽，当其中一列晶圆承载槽长时间使用后，当因为质量问题需要检修晶圆承载槽时，可直接旋转支撑杆，并通过支撑杆上的其他列晶圆承载槽对晶圆进行承载，而无需更换或检修出现质量问题的晶圆承载槽，不仅节省了劳动力，还提高了晶圆的加工效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种激光切割机轻型横梁

当前第 / 件

一种二氧化碳激光管镜片散热结构

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_673)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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