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| 专利/申请号： | CN202420552161.0 | 专利名称： | 一种晶圆热处理用石英舟 |
| 申请日： | 2024-03-21 | 申请/专利权人 | 连云港亮迪石英科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省连云港市东海县驼峰乡311省道北侧连云港波德利实业有限公司院内东西两栋三层楼房 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/673 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2025-01-24 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN222394781U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 5 | 所属领域： | 半导体制造 热处理设备专利转让搜索 |
应用场景：晶圆热处理工艺中的高温加工;提升石英舟使用寿命与均匀性控制
摘 要：本实用新型的一种晶圆热处理用石英舟，包括支撑杆；在支撑杆的外周面上沿支撑杆的长度方向间隔的开设有若干列晶圆承载槽；所述的安装孔的数量与支撑杆的数量一一对应设置；所述的安装孔为正多边形孔，所述的支撑杆为正多边形杆，所述支撑杆上每条长度方向的侧边上均开设有一列所述的晶圆承载槽。侧板与支撑杆之间可相互拆卸，并且支撑杆上设置有多列晶圆承载槽，当其中一列晶圆承载槽长时间使用后，当因为质量问题需要检修晶圆承载槽时，可直接旋转支撑杆，并通过支撑杆上的其他列晶圆承载槽对晶圆进行承载，而无需更换或检修出现质量问题的晶圆承载槽，不仅节省了劳动力，还提高了晶圆的加工效率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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