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| 专利/申请号： | CN202222084968.X | 专利名称： | 一种晶圆单片式清洗机的喷淋管结构 |
| 申请日： | 2022-08-09 | 申请/专利权人 | 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省南通市如皋市城南街道新桃路90号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-02-03 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN218447828U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 6 | 所属领域： | 半导体制造设备 晶圆清洗技术 精密流体控制专利转让搜索 |
应用场景：集成电路生产线上的晶圆表面污染物去除;先进封装工艺中的基板预清洗;化合物半导体材料的高精度清洁处理;光刻前道工序的颗粒物管控
摘 要：本实用新型涉及晶圆单片式清洗机技术领域，且公开了一种晶圆单片式清洗机的喷淋管结构，包括水箱、喷嘴和喷淋管道，所述水箱的外侧设置有安装箱，所述安装箱的四个靠拐角处均设置有安装块，四个所述安装块上均开设有安装孔，所述水箱的左上端连接有入水管道，所述水箱的右下端连接有输送水管。本实用新型通过设置过滤广口漏斗、第一过滤层、第二过滤层、取渣口、封盖和橡胶提手，利用它们之间的相互配合作用，从而可以实现对清洗液中的颗粒杂质进行过滤掉，提高了清洗液的洁净度，同时也避免了清洗液中掺杂的颗粒杂质堵塞喷嘴，其次可以方便对过滤下来的颗粒杂质进行取出，另外通过设置四个安装块，可以根据需求便捷的改变安装箱的安装位置。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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