咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本发明涉及芯片检测领域,尤其涉及芯片全面检测设备,包括显微镜和位于显微镜的物镜下方的承载台,显微镜的物镜与承载台相对,承载台上连接有使承载台转动的转动机构,承载台上还连接有使承载台间歇横向移动的移动机构。本方案实现了晶圆的自动移动,对晶圆进行全面检测。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810968854.7 | 专利名称: | 芯片全面检测设备 |
申请日: | 2018-08-23 | 申请/专利权人 | 重庆市嘉凌新科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 重庆市九龙坡区西彭镇森迪大道66号附75号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/66搜分类 集成电路搜索 |
公开/公告日: | 2021-08-27 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN109119357B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |