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摘 要:本发明公开了一种具有非对称周期结构的III族氮化物复合衬底及其加工方法,该复合衬底在特定取向的衬底上定义特定的两个方向,沿不同方向制备具有不同周期的图形,用于二次外延非、半极性III族氮化物材料。使用该复合衬底,可解决非、半极性III族氮化物在生长面内与传统常规衬底存在晶格失配各向异性的问题,从而提高非、半极性III族氮化物的外延生长质量,广泛应用于非、半极性III族氮化物光电子和电力电子器件。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110153096.5 | 专利名称: | 具有非对称周期结构的III族氮化物复合衬底及其加工方法 |
申请日: | 2021-02-04 | 申请/专利权人 | 南京信息工程大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省南京市江北新区宁六路219号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/02搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2023-05-23 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112992653B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |