发明专利已授权

一种离子探测器及其制备方法

Name: 一种离子探测器及其制备方法
Brand: 新昌县厚泽科技有限公司
SKU: 2019105742301
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910574230.1 📄 发布日：2026/06/10

著录项目信息

申请日

2019-06-28

公开号

CN110504178B

公开日

2021-10-12

申请人

新昌县厚泽科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_66

IPC 分类号

H01L21_66 , G01R27_02 ,

技术画像

所属领域

传感器技术传感器技术离子检测技术分析仪器

应用场景

环境监测, 水质分析, 医疗检测, 工业过程控制, 科研实验

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摘要

本发明属于离子检测技术领域，尤其涉及一种离子探测器，包括硅衬底(1)，依次形成在硅衬底(1)上的基础绝缘层(7)、第一复合层和第二复合层；还包括第一阳极(4-1)、第二阳极(4-2)，第一阴极(5-1)、第二阴极(5-2)；其中，复合层由多晶硅层(3)及其上方的绝缘层(2)构成，第一复合层中的绝缘层和/或多晶硅层在远离衬底的一面的中间区域具有凹陷，所述凹陷的深度小于所述凹陷所在的绝缘层或多晶硅层的厚度；第一复合层以及第二复合层的宽度随着远离硅衬底依次减小。本发明的离子探测器，从而不仅实现离子能量检测的高分辨，也能够克服离子探测器在制备过程中遇到的“过蚀刻”和/或“接触不良”的技术问题。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20211012

✅ 授权

20191220

?? 实质审查的生效：

20191126

📄 公开

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