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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN201810458574.1 | 专利名称： | 一种晶粒批量自动化湿式制程处理系统及其载具， |
| 申请日： | 2018-05-14 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 24 | 所属领域： | 自动化技术专利转让搜索 |
摘 要：一种晶粒批量自动化湿式制程处理系统及其载具，包括湿式制程机台、托板输送系统、转载板循环输送系统、盖板循环输送系统和机械手，晶粒人工放置到托板上，经托板输送系统送入，机械手将托板上的晶粒集中取出并水平转移至转载板上，托板经托板输送系统送至湿式制程机台的输出端，盖板下移覆盖在转载板上，转载板覆盖盖板后进入湿式制程机台进行晶粒处理，晶粒处理后转载板经湿式制程机台输送系统输出，盖板上移取出并经盖板循环输送系统收回至转载板覆盖盖板处，机械手将转载板上的晶粒取出并水平转移至托板上，转载板经转载板循环输送系统收回至湿式制程机台前端的转载盘盛放晶粒处，托板将晶粒送至产品集中处。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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