发明专利已授权

一种晶粒批量自动化湿式制程处理系统及其载具

📄 申请号：CN201810458574.1 📄 发布日：2026/07/06

著录项目信息

申请日

2018-05-14

申请人

安徽宏实自动化装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

技术画像

所属领域

湿式制程设备湿式制程设备晶粒载具自动化湿法处理系统

应用场景

晶粒湿法清洗, 晶粒蚀刻, 晶圆级封装, 半导体封装, 集成电路制造

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摘要

一种晶粒批量自动化湿式制程处理系统及其载具，包括湿式制程机台、托板输送系统、转载板循环输送系统、盖板循环输送系统和机械手，晶粒人工放置到托板上，经托板输送系统送入，机械手将托板上的晶粒集中取出并水平转移至转载板上，托板经托板输送系统送至湿式制程机台的输出端，盖板下移覆盖在转载板上，转载板覆盖盖板后进入湿式制程机台进行晶粒处理，晶粒处理后转载板经湿式制程机台输送系统输出，盖板上移取出并经盖板循环输送系统收回至转载板覆盖盖板处，机械手将转载板上的晶粒取出并水平转移至托板上，转载板经转载板循环输送系统收回至湿式制程机台前端的转载盘盛放晶粒处，托板将晶粒送至产品集中处。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

移动终端待机拍照方法及装置

当前第 / 件

红曲霉菌发酵提取物染色制得的橙色莱赛尔面料及其制备方法

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