发明专利 已授权

一种硅板机械清洗装置

📄 申请号:CN201810334479.0 📄 发布日:2026/10/04

著录项目信息

申请日
2018-04-14
公开号
CN108573904A
公开日
2018-09-25
申请人
安徽吉乃尔电器科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体制造, 硅片清洗, 光伏电池生产, 电子器件加工

摘要

本发明公开了一种硅板机械清洗装置,涉及微电子清洗设备技术领域,包括承载装置和清洗装置,清洗装置包括转盘,转盘下表面设有软羊毛刷,转盘顶部连接有电机,承载装置包括承载底座,承载底座中心对称设有四个承载滑槽,承载滑槽内设有固定组件,固定组件包括U型框和挡板,U型框两端内壁设有T型滑槽,挡板两端设有T型凸起,T型凸起与T型滑槽滑动连接。通过本装置,可以快速对硅板完成更换和翻转,减少了更换硅板的时间,提高了工作效率。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN108573904A

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20210820
✅ 授权
20210803
⏳ 专利申请权的转移 :
20181026
?? 实质审查的生效 :
20180925
📄 公开
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:7 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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