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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN201810334479.0 | 专利名称： | 一种硅板机械清洗装置 |
| 申请日： | 2018-04-14 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 8 | 所属领域： | 机械制造 机械清洗装置专利转让搜索 |
应用场景：集成电路生产线上的晶圆载具清洁维护;光伏产业硅基板预处理工序;半导体封装前的基板表面处理;电子元件制造中的精密部件去污
摘 要：本发明公开了一种硅板机械清洗装置，涉及微电子清洗设备技术领域，包括承载装置和清洗装置，清洗装置包括转盘，转盘下表面设有软羊毛刷，转盘顶部连接有电机，承载装置包括承载底座，承载底座中心对称设有四个承载滑槽，承载滑槽内设有固定组件，固定组件包括U型框和挡板，U型框两端内壁设有T型滑槽，挡板两端设有T型凸起，T型凸起与T型滑槽滑动连接。通过本装置，可以快速对硅板完成更换和翻转，减少了更换硅板的时间，提高了工作效率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2021/08/20 | 授权 | |
| 2021/08/03 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2021.07.22 申请人由安徽吉乃尔电器科技有限公司变更为芜湖扬展新材料科技服务有限公司 地址由241000 安徽省芜湖市三山经济开发区办公楼1#厂房（芜湖市晨曦新型建材科技有限公司内）变更为241000 安徽省芜湖市三山区龙湖街道8号创业大街2号楼228室 |
| 2018/10/26 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/67 专利申请号: 201810334479.0 申请日: 2018.04.14 |
| 2018/09/25 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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