发明专利已授权

一种金属互联结构的制备方法

Name: 一种金属互联结构的制备方法
Brand: 佛山市宝粤美科技有限公司
SKU: 201810166460X
Availability: InStock

📄 申请号：CN201810166460.X 📄 发布日：2026/08/27

著录项目信息

申请日

2018-02-28

公开号

CN108389797A

公开日

2018-08-10

申请人

佛山市宝粤美科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L21_311

IPC 分类号

H01L21_311 , H01L21_768 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体芯片制造, 集成电路, 微电子器件

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摘要

本发明提供了一种金属互连结构的制备方法，其包括有提供具有互连线的下方介质层；在下方介质层上依次形成富含氮的蚀刻终止检测层、多孔层间介质层、低K缓冲层、金属硬掩模层；在所述金属硬掩模层上形成具有开口图案的光刻胶层，并且开口的截面的宽度大于互连线的截面宽度；对金属硬掩模层和低K缓冲层进行刻蚀，形成开口结构；以开口结构为掩模对多孔层间介质层进行飞秒激光刻蚀；通过检测，当刻蚀到所述富含氮的蚀刻终止检测层时，采用第三刻蚀，并在刻蚀过程中通入氢气还原气体；在暴露出下方的所述互连线之后，持续通入氢气并对下方介质层进一步的过刻蚀，形成开口结构；在开口结构中依次形成阻挡层、晶种层和金属层，形成金属互连结构。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20200821

✅ 授权

20200814

⏳ 专利申请权的转移：

20200724

⏳ 著录事项变更：

20180904

?? 实质审查的生效：

20180810

📄 公开

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