一种金属互联结构的制备方法

摘     要：本发明提供了一种金属互连结构的制备方法，其包括有提供具有互连线的下方介质层；在下方介质层上依次形成富含氮的蚀刻终止检测层、多孔层间介质层、低K缓冲层、金属硬掩模层；在所述金属硬掩模层上形成具有开口图案的光刻胶层，并且开口的截面的宽度大于互连线的截面宽度；对金属硬掩模层和低K缓冲层进行刻蚀，形成开口结构；以开口结构为掩模对多孔层间介质层进行飞秒激光刻蚀；通过检测，当刻蚀到所述富含氮的蚀刻终止检测层时，采用第三刻蚀，并在刻蚀过程中通入氢气还原气体；在暴露出下方的所述互连线之后，持续通入氢气并对下方介质层进一步的过刻蚀，形成开口结构；在开口结构中依次形成阻挡层、晶种层和金属层，形成金属互连结构。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2020/08/21	授权
  2020/08/14	专利申请权的转移	登记生效日: 2020.07.27 申请人由佛山市宝粤美科技有限公司变更为邓丽娟 地址由528000 广东省佛山市禅城区河宕村委河南工业大道北侧佛山市鸿艺建材城C座二层E6-8号（住所申报）变更为510000 广东省广州市越秀区北站新街1号201房
  2020/07/24	著录事项变更	发明人由赵红英　变更为邓丽娟
  2018/09/04	实质审查的生效	IPC(主分类): H01L 21/311 专利申请号: 201810166460.X 申请日: 2018.02.28
  2018/08/10	公开