发明专利 已授权

一种硅片生产用自动化硅片脱胶机

📄 申请号:CN201910744112.0 📄 发布日:2026/09/11

著录项目信息

申请日
2019-08-13
公开号
CN110491807B
公开日
2022-04-08
申请人
合肥大恒智慧能源科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

硅片生产, 半导体制造, 光伏电池制造, 自动化生产线, 晶圆加工

摘要

本发明公开了一种硅片生产用自动化硅片脱胶机,包括脱胶机本体,所述脱胶机本体内部包括有电控箱,且电控箱左侧固定连接有脱胶箱体,所述脱胶箱体内部固定连接有分隔板,且分隔板将脱胶箱体内部从右至左依次等分为第一脱胶室、第二脱胶室和第三脱胶室和烘干室,所述脱胶箱体前端铰接连接有脱胶箱门,所述脱胶箱体下端固定连接有收集箱体,所述脱胶箱体内部固定安装有输送机构。该硅片生产用自动化硅片脱胶机,增加了整体脱胶的效果,从而增加了硅片生产的效果,从而增加额了整体实用性,且生产中的水均通过循环的方式进行再利用,降低了整体的资源消耗,增加了整体实用性,从而增加了整体的实用性。

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是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN110491807B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:16 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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