实用新型已授权

一种集成光电子器件制造用蚀刻装置

📄 申请号：CN202320783531.7 📄 发布日：2026/09/04

著录项目信息

申请日

2023-04-11

公开号

CN219936999U

公开日

2023-10-31

申请人

泰州市大洋数控设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_687 ,

技术画像

所属领域

集成光电子器件半导体制造设备蚀刻设备光电子器件制造集成光电子器件

应用场景

集成光电子器件制造, 光子集成芯片制造, 半导体晶圆加工, 光通信器件制造, 化合物半导体器件制造

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摘要

本实用新型涉及蚀刻机技术领域，具体为一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括底板，所述底板的底面四角固定连接有四个支撑腿，所述底板的顶面上固定连接有挡板，所述挡板上对称设置有两个固定装置，所述固定装置包括活动板、弹簧、连接杆、夹紧板、胶布、刮板，所述挡板侧面开设有内腔，所述活动板滑动连接在内腔中，所述弹簧一端固定连接在挡板的内腔内壁上。通过设置固定装置，利用弹簧形变产生的弹力挤压活动板，从而推动夹紧板始终将集成光电子器件夹紧，解决了现有蚀刻机在进行作业时，集成光电器件在蚀刻过程中容易受蚀刻液冲击发生偏移，导致蚀刻部位不准确，影响蚀刻品质的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种集成光电子器件制造用滚压装置

当前第 / 件

一种方便安装的集成线路板

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_67)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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