实用新型已授权

一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备

Name: 一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备
Brand: 力易(杭州)传感科技有限公司
SKU: 2020222885573
Availability: InStock

📄 申请号：CN202022288557.3 📄 发布日：2026/08/25

著录项目信息

申请日

2020-10-15

公开号

CN213691964U

公开日

2021-07-13

申请人

力易(杭州)传感科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_67

IPC 分类号

H01L21_67 , H01L21_683 ,

技术画像

所属领域

生产设备传感器制造设备蚀刻设备精密定位机构生产设备

应用场景

传感器生产, 半导体制造, 工业自动化, 精密加工, 电子元器件制造

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摘要

本实用新型公开了一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，涉及电子零件生产技术领域，具体为底座、喷淋机构、自锁限位机构、同步升降机构和流量控制机构，所述底座两侧设置有支架，所述定位环远离导柱一端设置有喷淋头，该一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，通过设置有喷淋机构，自锁限位机构的设置解决了设备人员在进行喷淋头安装时，因缺乏准确的导向定位导致大多是由人工用目测的方式来确保垂直的问题，自锁限位机构既能实现导柱经由定位环对喷淋头的具有明确导向的快速对接，又能快速实现旋翼与定位环的锁止，同时自锁的结构设置防止工作流程中喷淋头与主体之间的异常脱落，可控条件下的解锁流程快速简便，适用性更强。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN213691964U

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221230

?? 专利权的转移：

20210713

✅ 授权

一种低热传导系数的多层建筑幕墙门窗玻璃

当前第 / 件

一种具备暗匣定位摆放功能的三轴传感器生产设备

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